蔡司三坐标测量机多种型号，精度与分辨率各异。
蔡司三坐标XENOS型号，长度测量误差为\(0.3 + L/1000\)μm，其测量范围为\(xyz9/15/79001,500700\)，分辨率达纳米级别。
蔡司三坐标MICURA配备蔡司VAST XTgold扫描探头与Navigator技术，主动式扫描时可获微米级测量精度，适用于光学与电子产品的微小工件测量，分辨率在亚微米级别。
蔡司三坐标ZEISS PRISMO系列，不同型号精度为0.5μm、0.7μm、0.9μm等，分辨率通常在亚微米至微米级别，具体由型号与配置决定。
蔡司三坐标ZEISS CONTURA，精度随型号不同，分别为\(1.5μm + L/350\)、\(1.6μm + L/350\)、\(1.7μm + L/350\)、\(2.1μm + L/350\)等，分辨率在亚微米级别。
实际应用中，测量机精度与分辨率还受环境、工件特性、测量方法等多种因素影响。选择时需综合考虑设备的精度、分辨率、测量范围、工作环境要求等因素，参考产品资料与技术规格。正确操作与校准是保证测量精度与可靠性的关键。
蔡司不断改进更新产品，建议购买前咨询官方网站、授权经销商或专业供应商，获取**新、准确信息。对特定型号感兴趣，提供型号后可获得详细介绍。
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回答时间：2025-02-02 08:37
