数字IC后端设计实现培训教程涵盖了在TSMC工艺节点的物理实现过程中,进行地板图(Floorplan)和功率规划(Powerplan)后的关键步骤,特别是Calibre DRC检查,以确保设计在前期阶段规避可能的DRC问题。
在TSMC 28nm工艺节点的训练中,强调了完成地板图和功率规划后必须执行Innovus和Calibre的DRC检查。此步骤目的在于预防地板图带来的基础层DRC问题和功率规划引发的PG网线导致的金属/接点DRC问题。
随着工艺节点进阶至TSMC 12nm,提前检查地板图和功率规划相关的DRC检查变得更加重要。例如,在添加TAP单元时,若相邻放置会导致基础层DRC违规。同样,指定核心与晶圆之间的距离时,非FinFET网格整数倍的值会引发大量基础层DRC违规。
具体案例展示了在T12nm A55中的Calibre DRC类型M2.S.9违规,数量高达646个,主要问题在于打孔时的通孔与标准单元内部的cell blockage存在空间问题。接下来,将分享在TSMC 12nm地板图、功率规划后的DRC检查方法。
首先,在Innovus中进行在线DRC检查,包括verify_drc、verify_PG_short(检查PG短路)和verifyConnectivity(电源连接性检查)。进行Innovus中导出GDS前,需预先添加filler确保设计正确性。
在使用addFiller时,若遇到设计必须先执行标准单元布局的错误提示,可通过添加-area选项以正常添加filler。
接着,生成GDS供后续Calibre GDS合并使用。完成后,执行Calibre DRC检查,以评估整个设计的DRC状态。
在TSMC 12nm Ananke_core设计中,Calibre DRC检查结果揭示了大量金属层和基础层的DRC违规,尤其集中在Dummy TCD Cell的周边。这类违规的主要原因在于未在Dummy TCD Cell边添加端帽单元(边界单元)。
最后,对DRC问题进行修复并重新执行Calibre DRC检查,将地板图和功率规划修改后,可得到更新的DRC结果。通过此过程,确保了设计在物理实现阶段的合规性与稳定性。
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