靶材的分类及应用方向?

提问网友发布时间：2022-04-23 02:01

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共2个回答

热心网友回答时间：2023-06-28 21:55

一、根据不同材质靶材可分为：金属靶材，陶瓷（氧化物、氮化物等）靶材，合金靶材。
二、根据不同应用方向可分为（了解）

1、半导体关联靶材：
电极、布线薄膜：铝靶材，铜靶材，金靶材，银靶材，钯靶材，铂靶材，铝硅合金靶材，铝硅铜合金靶材等。
储存器电极薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材等。
粘附薄膜：钨靶材，钛靶材等。
电容器绝缘膜薄膜：锆钛酸铅靶材等。
2、磁记录靶材：
垂直磁记录薄膜：钴铬合金靶材等。
硬盘用薄膜：钴铬钽合金靶材，钴铬铂合金靶材，钴铬钽铂合金靶材等。
薄膜磁头：钴钽铬合金靶材，钴铬锆合金靶材等。
人工晶体薄膜：钴铂合金靶材，钴钯合金靶材等。
3、光记录靶材：
相变光盘记录薄膜：硒化碲靶材，硒化锑靶材，锗锑碲合金靶材，锗碲合金靶材等。
磁光盘记录薄膜：镝铁钴合金靶材，铽镝铁合金靶材，铽铁钴合金靶材，氧化铝靶材，氧化镁靶材，氮化硅靶材等。

热心网友回答时间：2023-06-28 21:56

靶材按材质可分为：常规金属靶材，贵金属靶材，稀土金属靶材，半导体靶材，合金靶材，陶瓷靶材（氧化物氮化物），复合掺杂靶材等。
靶材按形状可分为：方靶、圆靶、圆片、圆台、矩形、片材、台阶片、管材、圆环、旋转靶材
应用方向可分为：半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、工具改性靶材、电子器件靶材等。

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