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请问:采用PVD方法制备蓝色薄膜需用什么靶材?

提问网友 发布时间:2022-04-23 02:01
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3个回答
热心网友 回答时间:2023-09-01 14:58
一般PVD制备蓝色薄膜,最常用靶材自然是钛靶和铝靶。

以本人多年的PVD经验,做蓝色薄膜量产不稳定,边缘效应较明显。呵呵,希望对你有所帮助。
热心网友 回答时间:2023-09-01 14:59
蓝色是需要氧气和TI耙进行调机的。。。。比真空炉的影响比较大,因为氧气容易氧化,所以对真空油和机器都会降低使用寿命
热心网友 回答时间:2023-09-01 14:59
TI钛

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